一、集中送風(fēng)方式
這種方式一般是采用數(shù)臺(tái)大型新風(fēng)處理機(jī)組和凈化循環(huán)機(jī)組集中設(shè)置在空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi),空調(diào)機(jī)房可位于潔凈室的側(cè)面或頂部。經(jīng)過(guò)溫度、濕度處理和過(guò)濾后的空氣由離心風(fēng)機(jī)或軸流風(fēng)機(jī)加壓后通過(guò)風(fēng)道送入送風(fēng)靜壓箱,再經(jīng)由高效過(guò)濾器或超高效過(guò)濾器過(guò)濾后送入潔凈室?；仫L(fēng)經(jīng)格柵地板系統(tǒng),流入回風(fēng)靜壓箱再回到凈化循環(huán)系統(tǒng),如此反復(fù)循環(huán)運(yùn)行。
二、隧道潔凈室送風(fēng)方式
這種送風(fēng)方式一般把潔凈室劃分為生產(chǎn)核心區(qū)、維護(hù)區(qū),生產(chǎn)核心區(qū)要求高潔凈度和嚴(yán)格的溫、濕度控制,設(shè)在單向流送風(fēng)區(qū)內(nèi);維護(hù)區(qū)要求較低,設(shè)置生產(chǎn)輔助設(shè)備或無(wú)潔凈要求的生產(chǎn)設(shè)備的尾部和配管配線等。生產(chǎn)區(qū)為送風(fēng)區(qū),維護(hù)區(qū)為回風(fēng)區(qū),構(gòu)成空氣循環(huán)系統(tǒng)。一般隧道式送風(fēng)是由多臺(tái)循環(huán)空氣系統(tǒng)組成,所以其中一臺(tái)循環(huán)機(jī)組出現(xiàn)故障不會(huì)影響其他區(qū)域的生產(chǎn)環(huán)境潔凈度,并且各個(gè)循環(huán)系統(tǒng)可根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)需要進(jìn)行分區(qū)調(diào)整控制。
三、風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元送風(fēng)方式
這是在潔凈室的吊頂上安裝多臺(tái)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元機(jī)組,構(gòu)成凈化循環(huán)機(jī)組,不需要配置凈化循環(huán)空調(diào)機(jī)房,送風(fēng)靜壓箱為負(fù)壓?？諝庥蒄FU送到潔凈室,從回風(fēng)靜壓箱經(jīng)兩側(cè)夾道回至送風(fēng)靜壓箱,根據(jù)潔凈室的溫度調(diào)節(jié)需要,一般在回風(fēng)夾道設(shè)干式表冷器。新風(fēng)處理機(jī)可集中設(shè)在空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi),處理后新風(fēng)直接送入送風(fēng)靜壓箱。因送風(fēng)靜壓箱為負(fù)壓,有利于高效過(guò)濾器頂棚的密封;但由于FFU機(jī)組臺(tái)數(shù)較多,在滿布率較高時(shí),一般投資較大,運(yùn)行費(fèi)用亦多,有的FU噪聲較大,選用時(shí)需要注意。
四、模塊式風(fēng)機(jī)單元送風(fēng)方式
它是由送風(fēng)機(jī)安裝在HEPA或ULPA之上,1臺(tái)送風(fēng)機(jī)可配數(shù)臺(tái)高效過(guò)濾器的空氣循環(huán)系統(tǒng),這種模塊式風(fēng)機(jī)單元循環(huán)系統(tǒng)是無(wú)風(fēng)管道方式,空氣輸送速度較低,送風(fēng)機(jī)和過(guò)濾器維修較方便,能量消耗較少。
五、微環(huán)境+開放式潔凈室的送風(fēng)方式
這種方式是為了確保日益要求生產(chǎn)環(huán)境極為嚴(yán)格的半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的關(guān)鍵工序或設(shè)備的微環(huán)境控制達(dá)到高潔凈度等級(jí)(如0.05~0.1μm,ISO1級(jí)),而其周圍的開放式大面積潔凈環(huán)境僅保持在相對(duì)較差的潔凈度等級(jí)(如ISo5級(jí)或ISO6級(jí)),微環(huán)境內(nèi)控制潔凈度嚴(yán)格的單向流潔凈環(huán)境,而開放式潔凈室為單向流或混合流潔凈室。這種方式的能量消耗較少工藝布置靈活性好,建設(shè)投資和運(yùn)行費(fèi)用都可以降低。
