一、潔凈室設(shè)計(jì)之人員凈化
在潔凈廠房內(nèi)眾多的污染源中,人是主要的污染源之一,尤其是工作人員在潔凈環(huán)境中
的活動,會明顯地增加潔凈環(huán)境的污染程度。
集成電路生產(chǎn)中硅片污染源隨著芯片生產(chǎn)過程的自動化和微環(huán)境技術(shù)的日益廣泛應(yīng)用,潔凈室技術(shù)性能的不斷提高和潔凈服技術(shù)的進(jìn)步,其比率正逐漸變化。人員對芯片微粒污染比率逐漸減少,而設(shè)備、生產(chǎn)工藝過程所占比率逐漸增加,對人員的凈化要求隨所生產(chǎn)的產(chǎn)品對環(huán)境潔凈度要求的不同而不同,在工作入員進(jìn)入潔凈室前必須按規(guī)定的程序進(jìn)行人身凈化、人員凈化應(yīng)循序漸進(jìn),有一個(gè)合理的程序,避免已清潔的部分再被臟的部分所污染。
二、潔凈室設(shè)計(jì)之人員凈化用室及生活用室
人員浄化用室,應(yīng)包括雨具存放、換鞋、管理、存外衣、更潔凈工作服等房問。廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空氣吹淋室、氣閘室、工作服洗滌和干燥間等其他用室,可根據(jù)潔凈室的用途、產(chǎn)品生產(chǎn)要求和具體設(shè)計(jì)的實(shí)際情況確定是否設(shè)置所有進(jìn)入潔凈室的人員必須在換鞋處凈鞋或換鞋,目的在于使凈化用室入口處不致受到嚴(yán)重污染,多數(shù)潔凈廠房人員入口前設(shè)有擦鞋、水洗凈鞋、粘鞋墊、換鞋、套鞋等凈鞋措施。
為了保護(hù)人員浄化用室的清潔,最徹底的辦法是在更衣前將外用鞋脫去,換上清潔鞋或鞋套?，F(xiàn)有潔凈廠房工作人員都執(zhí)行更衣前換鞋的制度,其中不少潔凈廠房對換鞋方式作了周密考慮,換鞋設(shè)施的布置考慮了外用鞋與清潔鞋接觸的地面要有明確的區(qū)分,避免了清潔鞋被外用鞋污染,例如跨越鞋柜式換鞋,清潔平臺上換鞋等都有很好的效果。
外出服在家庭生活及戶外活動中積有大量微塵和不潔物,服裝本身也會散發(fā)纖維屑,更衣室將外出服及隨身攜帶的其他物品存放于專用的存衣柜內(nèi),避免外出服污染潔凈工作服。
手是交又污染的媒介,人員在接觸工作服之前洗手是十分必要的。操作中直接用手接觸潔凈零件、材料的人員可以戴潔凈手套或在潔凈室內(nèi)洗手。
洗凈的手不可用普通毛巾擦抹,因?yàn)槠胀硪桩a(chǎn)生纖維塵,最好的辦法是熱風(fēng)吹干,電熱自動烘手器就是一種較好的選擇。
潔凈區(qū)設(shè)置廁所不僅容易使?jié)崈羰沂艿轿廴?還會影響潔凈室(區(qū))的壓差控制,所以最好不要在潔凈廠房的人員凈化用室的范圍內(nèi)設(shè)廁所,如果確需在人員凈化用室內(nèi)設(shè)置時(shí),應(yīng)設(shè)在盥洗室之前,廁所前增設(shè)前室,供人廁前更衣、換鞋用,同時(shí)室內(nèi)應(yīng)連續(xù)排風(fēng),以免臭氣、混氣進(jìn)入潔凈區(qū)。
三、潔凈室設(shè)計(jì)之人員凈化用室的布置
人員凈化用室和生活用室通常設(shè)在潔凈廠房的人員人口處,兩部分房間可有置在一起統(tǒng)一安排,遵循空氣潔凈度等級的要求,由外至內(nèi)逐步提高和入員凈化循序漸進(jìn)。凈鞋措施應(yīng)設(shè)在人員凈化用室的人口處;存外衣和更換潔浄服應(yīng)分別設(shè)置,外衣存放柜應(yīng)按設(shè)計(jì)人數(shù)每人設(shè)柜,潔凈工作服宜集中掛入帶有空氣吹淋的潔凈柜內(nèi);空氣吹淋室應(yīng)布置在緊鄰潔凈室的人員入口處,即穿過空氣吹淋室就進(jìn)人到潔凈室,通?？諝獯盗苁沂桥c潔凈工作服更衣室緊鄰布置;當(dāng)設(shè)氣閘室時(shí),氣閘室應(yīng)布置在潔凈室人員入口處,氣閘室的兩道門不應(yīng)同時(shí)開啟,應(yīng)設(shè)連鎖裝置進(jìn)行控制。
所以潔凈室設(shè)計(jì)必須要做好人員凈化和生活用室，才能保證潔凈室的潔凈度達(dá)標(biāo)。
