電子無塵車間有著對噪音的要求、車間內(nèi)外壓差的要求、車間氣流滿布的要求、車間溫濕度的要求、對潔凈度的要求、冷負(fù)荷要求、對新風(fēng)系統(tǒng)的要求、抗靜電的要求、對新鮮空氣的要求等方面的標(biāo)準(zhǔn)要求。
1、車間內(nèi)噪音的要求
噪音會對作業(yè)員的工作效率和狀態(tài)產(chǎn)生影響，因此也是首要關(guān)鍵的一環(huán)。一般在靜止空態(tài)條件下要求車間內(nèi)的噪音標(biāo)準(zhǔn)要在60db以下。
2、車間內(nèi)外壓差的要求
對于無塵車間而言需要有穩(wěn)定的氣體流動才能做到除塵的目的，因此一定要存在有壓差。
在車間室內(nèi)和室外一般要求壓差不能小于10pa，在車間內(nèi)部的潔凈區(qū)域和非潔凈區(qū)域的壓差則不能小于5pa。
3、車間氣流滿布的要求
對于電子無塵車間要求中氣流的滿布要求是不能忽略的重點(diǎn)。這代表著流動的氣體能夠覆蓋車間內(nèi)部空間的比例是否足夠，是否能做到這個車間內(nèi)空間的基本覆蓋率。
對于單向流動的滿布率要在40%以上，而垂直流動的要在60%以上。
4、車間溫濕度的要求
車間內(nèi)部一定要配備有空調(diào)凈化系統(tǒng)來保障溫濕度，還應(yīng)添加新風(fēng)系統(tǒng)和超溫保護(hù)系統(tǒng)以及防低溫系統(tǒng)等等設(shè)施。
5、對潔凈度的要求
由于生產(chǎn)工藝種類繁多，對潔凈度等級要求也不同，高的很高，低的很低。
對粒子粒徑控制的要求也不同，范圍約為0.1~5um；對溫濕度控制的要求相對較高，如集成電路前道工序一般要求室內(nèi)溫度基數(shù)為22℃（精度±0.1~±1℃）。
相對濕度基數(shù)為40%（精度±2~±5℃；正壓值要求的梯度級別，隨著潔凈度的變化而從高到低變化，差值5~10Pa。
6、冷負(fù)荷要求
電子行業(yè)無塵車間的冷負(fù)荷比其他行業(yè)的無塵車間大很多，單位冷負(fù)荷達(dá)400~500W/㎡很常見。由于冷負(fù)荷大，一般情況下，冬季也需要供冷，這是電子行業(yè)的特點(diǎn)。
7、對新風(fēng)系統(tǒng)的要求
電子行業(yè)生產(chǎn)工藝過程產(chǎn)生的有害氣體種類繁多，且量也大，所以需要的排風(fēng)量和新風(fēng)量也大。新排風(fēng)的節(jié)能措施也是行業(yè)特點(diǎn)之一，排放前要做處理，使排風(fēng)負(fù)荷環(huán)保要求。
8、抗靜電的要求
電子行業(yè)生產(chǎn)工藝有抗靜電、抗微振的要求，并且大宗氣體和特種氣體種類多，對純度和潔凈度要求高：
9、對新鮮空氣的要求
補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。保給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
