光學(xué)電子是研究電子在電磁場中運(yùn)動(dòng)和電子束在電磁場中聚焦、成像、偏轉(zhuǎn)等規(guī)律的學(xué)科，目前比較常見的有半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造等行業(yè)。
科技發(fā)展日新月異，對(duì)光學(xué)電子產(chǎn)品的高精度化和細(xì)小化都有了更高的要求。而這些需求，都需要在安全科學(xué)的無塵室內(nèi)完成，所以對(duì)光學(xué)電子無塵車間技術(shù)也有了更高的要求。
在對(duì)光學(xué)無塵室設(shè)計(jì)前，應(yīng)加強(qiáng)對(duì)光學(xué)微電子行業(yè)的認(rèn)識(shí)，了解其基礎(chǔ)知識(shí)和特點(diǎn)，并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況，同時(shí)還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力，綜合各種因素來確定采用何種凈化方案，這樣才可設(shè)計(jì)出一個(gè)能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價(jià)合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實(shí)用的方案。
光學(xué)無塵室凈化工程一般包括：1、潔凈生產(chǎn)區(qū)，2、潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等），3、管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等），4、設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房）。
凈化原理：氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆?！仫L(fēng)百葉窗→初效凈化重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。
凈化參數(shù)
換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次。壓差：主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa；平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3－0.5m/s；溫度冬季＞16℃；夏季＜26℃；波動(dòng)±2℃。濕度45－65％；GMP粉劑車間濕度在50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10％－30％；照度300LX。
溫濕度要求：1.溫度一般為24+2℃，相對(duì)濕度為55+5%。
2.新風(fēng)量大。按照目前生產(chǎn)特點(diǎn)，光學(xué)無塵室內(nèi)人員都比較多，可以根據(jù)以下數(shù)值應(yīng)取下列的最大值：非單向流潔凈室總送風(fēng)量的10-30%;補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量，保證室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量≥40m3/h。送風(fēng)量大。為了滿足潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風(fēng)量，就平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬級(jí)，送風(fēng)量就需要300*2.5*30m3/h的送風(fēng)量(換氣次數(shù)，是≥25次/h)；如果是十萬級(jí)，送風(fēng)量就需要300*2.5*20=15000m3/h的送風(fēng)量。
凈化空調(diào)系統(tǒng)方案
1.組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口
2.水冷柜機(jī)+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口
3.分體空調(diào)柜機(jī)+FFU送風(fēng)口
上述三套方案各有各的特點(diǎn)，都有各自的優(yōu)缺點(diǎn)，通俗點(diǎn)來說一到三可以說是從高到低的排列。分析對(duì)于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設(shè)計(jì)，應(yīng)根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來選用哪種空調(diào)設(shè)計(jì)方案，以滿足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。根據(jù)以往經(jīng)驗(yàn)，對(duì)于要求高的可以選用組合式空氣處理機(jī)組集中處理的空調(diào)方案對(duì)于要求不高的，又要初投資低的，可以選用柜機(jī)?？傊?，具體的方案選擇根據(jù)具體情況而定。
以上所述，皆為理想狀態(tài)下的基礎(chǔ)配置。任何一項(xiàng)光學(xué)無塵室凈化工程，都不可避免有特殊情況，需要在設(shè)計(jì)是施工時(shí)具體分析。所以，要了解更詳盡光學(xué)無塵室知識(shí)，可以搜索“合景凈化”聯(lián)系專業(yè)工程師答疑解
