凈化車間工程的主要功能是提供一個(gè)健康的生活和生產(chǎn)環(huán)境,創(chuàng)造一個(gè)滿足照明、溫度、濕度、噪音、空氣流量、壓力、靜態(tài)和衛(wèi)生指標(biāo)如微振動(dòng)環(huán)境,使相關(guān)的服務(wù)和產(chǎn)品,以滿足人們的健康需求的環(huán)境,提供一個(gè)良好的空間,環(huán)境控制,從而有效地提高產(chǎn)品的合格率,改善和提高服務(wù)質(zhì)量的相關(guān)目標(biāo)。
凈化車間工程的溫濕度主要根據(jù)工藝要求確定，但在滿足工藝要求的條件下，要考慮人的舒適性。隨著空氣清潔度要求的提高，對(duì)溫度和濕度的要求越來越嚴(yán)格。
凈化車間工程溫度的具體要求將在后面列出，但作為一般原則，隨著加工精度的提高，對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求會(huì)越來越小。例如，在大規(guī)模集成電路產(chǎn)生的光刻曝光過程中，玻璃與硅片作為掩模材料的熱膨脹系數(shù)差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品可能有污染，特別是鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不應(yīng)超過25度。
高濕度會(huì)導(dǎo)致更多的問題。當(dāng)相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁暴露。如果它發(fā)生在精密設(shè)備或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度往往在50%生銹。此外，當(dāng)濕度很高時(shí)，附著在硅片表面的灰塵會(huì)被空氣中的水分子化學(xué)地附著在表面，這是很難去除的。相對(duì)濕度、粘結(jié)力越高，則越難去除，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電顆粒對(duì)表面吸附的影響，還容易對(duì)大量半導(dǎo)體器件產(chǎn)生擊穿。硅片生產(chǎn)的最佳溫度范圍是35 - 45%。
