潔凈室不像我們?nèi)粘Ｉ钪械姆块g，它不允許你隨便進(jìn)出，它是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。
對(duì)于潔凈室的潔凈室潔凈程度的維持和控制，除了硬件設(shè)備配合投資外，也需要良好的軟件--管理制度來配合，方能維持良好的潔凈度。半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)的微污染來源，經(jīng)測(cè)試分析結(jié)果，作業(yè)人員占約80％。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)顯示，作業(yè)人員進(jìn)出潔凈室時(shí)塵埃有顯著的增加，有人動(dòng)作時(shí)，潔凈度馬上劣化，可見潔凈度劣化之原因，人是主要因素。
一、室內(nèi)的空氣污染源及其傳播途徑
1、室內(nèi)工作人員
人員發(fā)塵是潔凈室內(nèi)空氣污染源的最主要來源，占80%~90%。人動(dòng)作時(shí)的發(fā)塵量相當(dāng)復(fù)雜，人靜止時(shí)的發(fā)塵量和激烈活動(dòng)時(shí)的發(fā)塵量大約相差10倍。一個(gè)人在室內(nèi)活動(dòng)時(shí)不可能都是激烈活動(dòng)，如果取這些動(dòng)作的平均，可以認(rèn)為一個(gè)人在室內(nèi)活動(dòng)時(shí)的發(fā)塵量為其靜止時(shí)的5倍，即為：5×105粒/（min?人）。
根據(jù)工藝性質(zhì)、人的動(dòng)作的多少和強(qiáng)弱的不同，這個(gè)倍數(shù)是不同的，可以分為較低和較高兩類，分別為3倍和7倍于靜止發(fā)塵量的數(shù)值，相應(yīng)為3×105粒/（min?人）和7×105粒/（min?人）。
當(dāng)然，人體發(fā)塵量還與服裝有很大的關(guān)系，和服裝的洗晾、吹淋等也有很大關(guān)系。根據(jù)實(shí)際使用情況和實(shí)驗(yàn)測(cè)定，尼龍綢潔凈服發(fā)塵量最少，棉的確良潔凈工作服的發(fā)塵量比尼龍綢的大。如果在尼龍綢衣服內(nèi)加穿一件棉的確良工作服，則可使尼龍綢工作服的發(fā)塵量進(jìn)一步降低。此外，潔凈工作服不宜揉洗，洗后應(yīng)在潔凈環(huán)境中晾干。
2、設(shè)備及工藝發(fā)塵
設(shè)備的產(chǎn)塵以轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備尤為突出，電動(dòng)機(jī)、齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)部件、伺服機(jī)械部件、液壓和氣動(dòng)啟動(dòng)器開關(guān)或人工操作的設(shè)備，都會(huì)由于移動(dòng)著的表面之間的摩擦而產(chǎn)生微粒。日本及西方工業(yè)國(guó)家對(duì)潔凈室常見的不同運(yùn)轉(zhuǎn)方式、不同速率、不同材質(zhì)的機(jī)械設(shè)備的典型動(dòng)作和某些電器的產(chǎn)塵進(jìn)行了相應(yīng)的實(shí)驗(yàn)研究。對(duì)潔凈室的機(jī)械、電器污染源給出了一些塵粒散發(fā)量的可參考數(shù)值，為潔凈室通風(fēng)設(shè)計(jì)提供了計(jì)算依據(jù)。
3、與潔凈室相鄰的污染區(qū)域
與潔凈室周邊相鄰或相通的，較低潔凈度的區(qū)域或非潔凈區(qū)域，由于人員、材料的進(jìn)出攜帶的污染空氣，或沉降在人員、物料上的污染物被帶入，是影響室內(nèi)潔凈度的另一個(gè)重要污染來源。合理的正壓差是減少通過圍護(hù)結(jié)構(gòu)的縫隙和傳遞窗、門、傳送帶開口等孔洞侵入污染空氣的重要措施。設(shè)在門口的氣閘室、緩沖室以及空氣吹淋室也有一定作用。但完全避免周邊污染區(qū)域?qū)崈羰噎h(huán)境的干擾與影響也是困難的，特別是潔凈室在外門的附近區(qū)域。因此，關(guān)鍵工藝區(qū)域宜遠(yuǎn)離外門。
4、未經(jīng)過濾的送風(fēng)
在正常情況下，新建、改建潔凈室或是末級(jí)過濾器更換后，按規(guī)范要求進(jìn)行了嚴(yán)格的驗(yàn)收檢測(cè)，則高效過濾器本身、高效過濾器與支撐框架的接觸面如有泄漏，都應(yīng)被查出并予以處理。此時(shí)，送風(fēng)系統(tǒng)不存在未經(jīng)過濾而進(jìn)入潔凈室的空氣。
值得防范和注意的是，在生產(chǎn)過程中未按操作規(guī)章不慎觸及脆弱的高效過濾器紙芯，或是高效過濾器支撐框架因振動(dòng)、或是密封膠墊老化、變質(zhì)而致使高效過濾器與框架接觸面的密封墊或膠條出現(xiàn)裂隙，從而泄漏未經(jīng)過濾的空氣，污染潔凈室，這也是日常監(jiān)測(cè)工作關(guān)注的重點(diǎn)。
5、原材料、包裝等
對(duì)進(jìn)入潔凈室的設(shè)備、材料以及容器、包裝等的預(yù)清潔、拆包地點(diǎn)和方法，以及進(jìn)入潔凈室的程序等，都應(yīng)該按照潔凈室運(yùn)行管理的相關(guān)規(guī)范執(zhí)行。但即使嚴(yán)格按照相關(guān)規(guī)范和程序操作，仍然難以完全杜絕粘附在原材料、容器、包裝，特別是一些難以徹底清潔的產(chǎn)品的細(xì)小組件上的污染物被帶入潔凈室。它們構(gòu)成了生產(chǎn)過程中的又一個(gè)重要污染源，而在這一點(diǎn)上往往容易被忽略。出現(xiàn)問題時(shí)，通常把注意力放在尋找空調(diào)凈化系統(tǒng)的缺陷上。
二、針對(duì)污染源的控制方法
1、控制工藝設(shè)備及工藝的產(chǎn)塵
潔凈室內(nèi)的工藝設(shè)備應(yīng)選料精良，光潔耐磨，那些轉(zhuǎn)動(dòng)、滑動(dòng)部位格外重要，要盡可能地減少磨損及產(chǎn)塵。對(duì)于那些產(chǎn)塵的工藝過程要盡可能地將其封閉或設(shè)置圍擋，并輔以排風(fēng)，形成局部范圍相對(duì)于潔凈室的負(fù)壓，以限制污染物向潔凈室其他區(qū)域擴(kuò)散。對(duì)室內(nèi)的機(jī)器設(shè)備定期地進(jìn)行清潔、擦拭是必要的制度，也是減少積塵二次飛揚(yáng)的有效措施。
2、不同級(jí)別相鄰潔凈室間的壓差
防止從相鄰的潔凈度較低區(qū)域向潔凈室傳播污染的主要方法是：維持高潔凈度區(qū)域相對(duì)于低潔凈度區(qū)域、低潔凈度區(qū)域相對(duì)于服務(wù)區(qū)域、服務(wù)區(qū)域相對(duì)于室外有一個(gè)合適的正壓值。根據(jù)不同的情況，不同級(jí)別相鄰房間的正壓值約為5Pa-10Pa。讓不同潔凈度的各級(jí)房間維持梯次的壓差，目的是當(dāng)房間門處于關(guān)閉情況時(shí)，通過縫隙的氣流流向是由高級(jí)別潔凈室流向低級(jí)別潔凈室、由低級(jí)別潔凈室流向走廊和服務(wù)區(qū)，再流向室外。
這樣就可減少由室外向服務(wù)區(qū)域，服務(wù)區(qū)域向低級(jí)別潔凈室，低級(jí)別潔凈室向高級(jí)別潔凈室傳播空氣中的懸浮污染物。正壓值并非越大越好，許多理論研究和實(shí)踐都證明，人員、物料通過門時(shí)，即便門兩側(cè)關(guān)門壓差高達(dá)50Pa~60Pa，仍難絕對(duì)避免隨人員、物料向內(nèi)移動(dòng)時(shí)的攜帶氣流將污染帶入室內(nèi)。特別是當(dāng)門兩側(cè)存在溫度差時(shí)，門敞開后，即便無人走動(dòng)，在開口斷面部分面積上也存在逆向氣流，帶入空氣的污染物。
此外，過高的正壓差還會(huì)造成潔凈室的門既難開啟又難關(guān)嚴(yán)，門縫氣流造成哨聲噪聲，以及因氣流外溢過量而補(bǔ)風(fēng)量增加，浪費(fèi)能源和加重各級(jí)過濾器的負(fù)擔(dān)。
3、潔凈室送風(fēng)的過濾
潔凈室空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)的末端裝置——高效空氣過濾器或超高效空氣過濾器，在正常情況下能有效過濾經(jīng)空調(diào)機(jī)組處理的新風(fēng)和回風(fēng)中的顆粒污染物。經(jīng)高效、超高效空氣過濾器處理后的潔凈空氣送入室內(nèi)，可有效地排替、沖淡室內(nèi)污染物，以維持室內(nèi)的潔凈度。
但末級(jí)過濾器如有破損或過濾器與支撐框架間的密封出現(xiàn)裂隙，氣密性失效，那么未經(jīng)高效空氣過濾器過濾的空氣就可能攜帶大量污染粒子進(jìn)入室內(nèi)并隨氣流擴(kuò)散，危害影響范圍較大。因此潔凈室投入使用前的末級(jí)過濾器檢漏、堵漏或更換工作十分重要。運(yùn)行過程中防范末級(jí)過濾器受損，也十分重要。高效過濾器到達(dá)使用壽命后及時(shí)更換也同樣應(yīng)予以關(guān)注。
