潔凈車間的凈化空調(diào)系統(tǒng)根據(jù)大氣含塵濃度、大氣中各種污染物濃度和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)及要求配置各類空氣過濾器——粗效、中效、高中效、亞高效和高效、超高效以及化學(xué)過濾器等。具體凈化空調(diào)系統(tǒng)中空氣過濾器的配置和選用應(yīng)根據(jù)潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的特殊要求(當(dāng)工藝無特殊要求時(shí),一般都是按空氣潔凈度等級(jí)配置)合理配置和選用,對(duì)于6級(jí)(1000級(jí))和比6級(jí)潔凈度差的潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)通常采用三級(jí)空氣過濾,即粗效、中效和髙效過濾器;粗效、中效(或中高效)過濾器,通常設(shè)在空氣處理裝置(AHU)內(nèi),且將中效或中高效設(shè)在正壓段;高效或亞高效過濾器一般設(shè)在潔凈室內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端,也有將高效過濾器集中設(shè)在集中的空氣處理裝置(AHU)內(nèi),但此時(shí)應(yīng)對(duì)送風(fēng)管道提出嚴(yán)格的清潔要求,以避免凈化后的空氣被污染。對(duì)于5級(jí)(100級(jí))和更嚴(yán)格的潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)中空氣過濾器的配置,應(yīng)根據(jù)潔凈室的總體設(shè)計(jì)方案及采用的凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求配置各類過濾器,比如有的集成電路生產(chǎn)用4級(jí)(0.1μm)和更嚴(yán)要求的潔凈室采用新風(fēng)集中處理,為了嚴(yán)格去除大氣中的微粒和各種污染物,通常在新風(fēng)處理裝置中設(shè)置粗效、中效(中高效)、亞高效甚至高效過濾器和化學(xué)過濾器或水噴淋裝置等;在潔凈室的循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)還設(shè)有高效、超高效和化學(xué)過濾器等;有的集成電路生產(chǎn)用潔凈室還在生產(chǎn)過程的某些生產(chǎn)區(qū)、生產(chǎn)工序或工藝設(shè)備設(shè)微環(huán)境裝置,以確保產(chǎn)品生產(chǎn)所需的空氣潔凈度要求。近年來,由于大氣質(zhì)量的下降,特別是除大氣塵以外的一些化學(xué)污染物或微生物等的增加,某些工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的更為嚴(yán)格的要求,在許多情況下僅僅采用“三級(jí)過濾器”的空氣凈化處理的概念已不能滿足需要,因此在進(jìn)行潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí),應(yīng)認(rèn)真了解產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和當(dāng)?shù)氐拇髿赓|(zhì)量情況,實(shí)事求是地進(jìn)行空氣過濾器的配置。
空氣過濾器的額定風(fēng)量是過濾器在一定的濾速下,過濾器效率和阻力合理選擇時(shí)的風(fēng)量;所以在確定空氣過濾器型號(hào)規(guī)格時(shí),一般應(yīng)按小于或等于額定風(fēng)量選用。有時(shí)在具體工程設(shè)計(jì)中經(jīng)過技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較和實(shí)際可能,常常小于額定風(fēng)量選用過濾器,使阻力降低,可使凈化空調(diào)系統(tǒng)的運(yùn)行能量消耗下降。
潔凈室設(shè)計(jì)者在進(jìn)行空氣過濾器選型時(shí),最為關(guān)注的是過濾器在額定風(fēng)量下的效率、阻力等主要性能參數(shù),這些性能參數(shù)在各個(gè)國家地區(qū)均有各自的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定及相應(yīng)的檢測(cè)方法，各過濾器生產(chǎn)廠家也根據(jù)以上標(biāo)準(zhǔn)制定自己的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)提供給用戶,其中過濾器效率的標(biāo)準(zhǔn)、試驗(yàn)方法各不相同,歐洲在20世紀(jì)70年代便推出了EU系列空氣過濾器標(biāo)準(zhǔn),從EU1—EU14共14個(gè)等級(jí);20世紀(jì)90年代又推出了G-F-H-U的分級(jí)標(biāo)準(zhǔn),共有17個(gè)等級(jí);1996年美國也推出以C1~C4、L5~L7、M9~M12、H13~H16、UH17~UH20的過濾器效率分級(jí)標(biāo)準(zhǔn);1999年歐洲標(biāo)準(zhǔn)委員會(huì)(CEN)又以EN1822—1發(fā)布MPPS(最易穿透粒徑)的測(cè)試方法和分級(jí)標(biāo)準(zhǔn);在后面將介紹我國制定的空氣過濾器和高效空氣過濾器的國家標(biāo)準(zhǔn)的情況,過濾器效率分級(jí)為粗效、中效、高中效、亞高效和A、B、C、D高效過濾器等。
